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等離子清洗機

0755-81478611EN
小型真空等離子表面處理機
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  • PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

類別:小型真空等離子表面處理機

簡介: 國產(chǎn)等離子清洗機廠家 三和波達等離子清洗裝置 小型的等離子清洗器

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  • 產(chǎn)品特點
  • 應用領域
PT-5SMT
腔體材質(zhì):石英耐熱玻璃
供電電源: AC220V
工作電流: 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率: 0-200W / 0-300W可調(diào)(射頻匹配一體)
射頻頻率: 13.56MHz
頻率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
真空度: 1pa-30Pa
氣體路數(shù): 雙路氣體輸入(高精密浮子流量計)
氣體流量: 10—160ml/min(可調(diào))
過程控制: PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間: 1-9999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-100可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 Φ150×270Lmm     5L
外形尺寸: 560×540×550mm L×W×H
真空泵: 飛越真空泵VRD-4 (含油霧過濾器)
真空室溫度: 小于30°C

冷卻方式: 強制風冷


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